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標準參考材料® 2133

硅深度剖面標準中的磷植入物

•       SRM2133 i深度剖面中磷種植(標準品)本標準參考物質(zhì)(SRM)用于校準次級離子對次級和次級離子的響應(yīng)用二次離子質(zhì)量分析技術(shù)測定硅基質(zhì)中痕量磷光譜法(SIMS)。SRM 2133是用于校準SIMS儀器對磷的響應(yīng)在一組特定儀器條件下的硅矩陣。它也可以被實驗室用作轉(zhuǎn)移物硅中磷工作標準的校準標準。該SRM由1厘米× 1厘米組成以100keV的名義能量注入同位素31P的單晶硅襯底。

           SRM2133 i深度剖面中磷種植(標準品)被認證為31P原子的保留劑量。劑量以每單位磷質(zhì)量表示單位面積。關(guān)于磷原子濃度隨深度變化的附加非認證信息表面以下是基于SIMS分析提供的。

認證值和不確定度:31P原子的總保留劑量由放射化學中子確定激活分析(RNAA)兩種獨立制備的磷參比溶液的等分(其中一種是NIST SRM 3139a磷標準溶液，磷濃度認證)沉積在鋁箔并作為標準。由此產(chǎn)生的認證值和擴展不確定度為:

認證值中的不確定性表示為擴展不確定性U = kuc，其中k是覆蓋因子為2.0，給出了95%的近似置信水平，uc是計算出的綜合標準不確定度根據(jù)ISO指南[1]。組合標準不確定度是通過對個體進行組合得到的從測量過程中通過傳播不確定度[1]得到或估計的標準不確定度。的A類和B類標準不確定度分量來自以下測量不確定度主要來源:(1)樣本的測量復(fù)制和異質(zhì)性;(2)樣本的測量復(fù)制比較標準，(3)標準溶液濃度，(4)放射化學雜質(zhì)，(5)體積(6)載流子產(chǎn)率的測定。所有已知的潛在不確定性來源都是如此被考慮[2-4]。